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            單晶爐用螺桿真空泵組

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            性能優勢 Performance Advantages

             

            · 無油氣污染工藝設備,可獲得清潔零件表面;

            · 被抽氣體不會被污染,為期可進行回收利用;

            · 無油氣、油煙等有害氣體排放,有利于環境保護;

            · 避免因泵腔內潤滑油乳化、變質而出現的運行故障,提高了系統的穩定性;

            · 可單獨使用,進氣壓力在1Pa至大氣壓下均能正常工作,抽氣效率高,可大幅度簡化真空系統;

            · 機組可作為前級泵使用,與羅茨泵、分子泵等組合成多級無油真空機組,以獲得更大與更高的真空度;

            · 轉子間無接觸、無磨損,零件損耗小,使用壽命長;

            · 泵腔內采用間隙密封,對少量粉塵不敏感;

            · 智能控制模式,實時監測設備運行狀態,并針對異常情況做出報警;

            · 模塊化設計,整機體積小,方便移動;

            · 可變頻運行,節能效果好;

            · 采用一體化水冷電機設計,運行噪音低,震動??;

             

             

             

             

            機組內容  Unit Content

             
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